关于服务

我们的纳米制造中心是一个最先进的洁净室设施，用于纳米科学和应用纳米技术的跨学科研究。纳米制造中心专为亚微米器件和纳米器件的制造而设计，拥有170平方米的1000级洁净室，配备了支持器件制造和表征的全套工具。

该中心为学院的全体教员提供服务。我们的中心支持从生物学到基础物理学的应用研究人员。我中心主要研究领域为:

生物器件，纳米电子器件，能源，MEMS/NEMS，材料科学，纳米管/线，纳米光子学和基础物理学。

中心设施主要分为五大类:

• 光刻技术
• 沉积
  • 物理气相沉积(PVD)
  • 化学气相沉积(CVD)
• 蚀刻
• 计量
• 额外的工具

我们欢迎来自各个学科和院系的研究人员使用中心现有的工具。

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